文献

J-GLOBAL ID：200902202356492440   整理番号：07A1203304

補完金属酸化物半導体回路と結合した片側電極型流体傾斜計

One-Side-Electrode-Type Fluid-Based Inclinometer Combined with Complementary Metal Oxide Semiconductor Circuitry

著者 (3件)： ABD MANAF Asrulnizam Bin (Keio Univ., Kanagawa, JPN) ,  NAKAMURA Kazumasa (Keio Univ., Kanagawa, JPN) ,  MATSUMOTO Yoshinori (Keio Univ., Kanagawa, JPN)
資料名： Sensors and Materials  (Sensors and Materials)
巻： 19  号： 7  ページ： 417-434  発行年： 2007年 
JST資料番号： L0338A  ISSN： 0914-4935  CODEN： SENMER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電気二重層理論を適用して,補完金属酸化物半導体(CMOS)回...

シソーラス用語： *傾斜計 ,...
準シソーラス用語： SU-8

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=07A1203304&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=L0338A") }}

分類 (3件)： 半導体集積回路  (NC03162T) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (1件)： プロピレンカルボナート

引用文献 (8件)：

• D. Benz, T. Botzelman, H. Kuck and D. Warkentin: Sens. Actuators A 18(2005) 123.
• S. Billat, H. Glosch, M. Kunze, F. Hedrich, J. F. Reeh, J. Auber and W. Lang: Proc. MEMS Conf., 2001(2001) p.159.
• R. A. Yotter, R. R. Baxter, S. Ohno, S. D. Hawley and D. M. Wilson: Transducer, 2003(2003) p.1279.
• H. Ueda, H. Ueda, K. Itoigawa, T. Hattori: Proc. 22nd Sensor Symp.(2005) p.207.
• M. Tsugai, Y. Hirata, T. Araki, M. Kimata: IEEJ Trans. 123(2003) 357.

タイトルに関連する用語 (4件)： 補完 ,  金属酸化物半導体 ,  流体 ,  傾斜計