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J-GLOBAL ID：200902202816778658   整理番号：04A0070628

高次モードフリー-フリービームマイクロ機械的共振器

Higher-Mode Free-Free Beam Micromechanical Resonators

著者 (2件)： DEMIRCI M U (Univ. Michigan, Michigan, USA) ,  NGUYEN C T-C (Univ. Michigan, Michigan, USA)
資料名： Proceedings of the IEEE International Frequency Control Symposium  (Proceedings of the IEEE International Frequency Control Symposium)
巻： 2003  ページ： 810-818  発行年： 2003年 
JST資料番号： C0958A  ISSN： 1075-6787  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 現在までに92MHzまでの周波数と7000を越えるQ値をもつ...

シソーラス用語： *マイクロマシニング ,...
準シソーラス用語： フリー・フリービーム

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分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： 高次モード ,  ビーム ,  マイクロ機械 ,  共振器