容量結合水素プラズマの数値モデリング  周波数と圧力の効果

NOVIKOVA T; KALACHE B; BULKIN P; HASSOUNI K; MORSCHEIDT W; ROCA I CABARROCAS P

文献

J-GLOBAL ID：200902203345739041 整理番号：03A0217859

容量結合水素プラズマの数値モデリング周波数と圧力の効果

Numerical modeling of capacitively coupled hydrogen plasmas: Effects of frequency and pressure.

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資料名：
巻： 93 号： 6 ページ： 3198-3206 発行年： 2003年03月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

非晶質・微結晶SiのプラズマCVDで堆積速度を上げるには,励...

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