圧電性MEMS素子の微細加工法

BABOROWSKI J

文献

J-GLOBAL ID：200902203348422464 整理番号：04A0649691

圧電性MEMS素子の微細加工法

Microfabrication of Piezoelectric MEMS

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資料名：
巻： 12 号： 1/2 ページ： 33-51 発行年： 2004年01月
JST資料番号： W1123A ISSN： 1385-3449 CODEN： JOELFJ 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：文献レビュー発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

薄膜など平面構造のPZTはセンサやアクチュエータに有用なため...

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圧電気,焦電気,エレクトレット , 非金属材料へのセラミック被覆 , 固体デバイス製造技術一般

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