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J-GLOBAL ID：200902203546119017   整理番号：06A0041223

Smart-Cut技術に基づく単結晶6H-SiC MEMS製造

Single crystal 6H-SiC MEMS fabrication based on smart-cut technique

著者 (2件)： CONG Peng (Case Western Reserve Univ., OH, USA) ,  YOUNG Darrin J (Case Western Reserve Univ., OH, USA)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 15  号： 12  ページ： 2243-2248  発行年： 2005年12月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高温用材料としての単結晶炭化けい素(SiC)は,これまで単結...

シソーラス用語： *マイクロマシン ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： SMART ,  単結晶 ,  6H-SiC ,  MEMS