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J-GLOBAL ID：200902203563167858   整理番号：04A0731473

浸漬塗布によって作製したインジウムすず酸化物透明動電膜からの水蒸気の発生

EVOLUTION OF WATER VAPOR FROM INDIUM-TIN-OXIDE TRANSPARENT CONDUCTING FILMS FABRICATED BY DIP COATING PROCESS
著者 (9件)：
SAWADA Y

SAWADA Y について

(Tokyo Polytechnic Univ., Kanagawa, JPN)

Tokyo Polytechnic Univ., Kanagawa, JPN について

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SEKI S

SEKI S について

(Tokyo Polytechnic Univ., Kanagawa, JPN)

Tokyo Polytechnic Univ., Kanagawa, JPN について

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SANO M

SANO M について

(ESCO Co. Ltd., Tokyo, JPN)

ESCO Co. Ltd., Tokyo, JPN について

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MIYABAYASHI N

MIYABAYASHI N について

(ESCO Co. Ltd., Tokyo, JPN)

ESCO Co. Ltd., Tokyo, JPN について

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NINOMIYA K

NINOMIYA K について

(TOTO Ltd., Kanagawa, JPN)

TOTO Ltd., Kanagawa, JPN について

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IWASAWA A

IWASAWA A について

(TOTO Ltd., Kanagawa, JPN)

TOTO Ltd., Kanagawa, JPN について

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TSUGOSHI T

TSUGOSHI T について

(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Nagoya, JPN)

National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Nagoya, JPN について

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OZAO R

OZAO R について

(SONY Inst., Kanagawa, JPN)

SONY Inst., Kanagawa, JPN について

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NISHIMOTO Y

NISHIMOTO Y について

(Kanagawa Univ., Kanagawa, JPN)

Kanagawa Univ., Kanagawa, JPN について


資料名：
Journal of Thermal Analysis and Calorimetry  (Journal of Thermal Analysis and Calorimetry)

Journal of Thermal Analysis and Calorimetry について


巻： 77  号： 3  ページ： 751-757  発行年： 2004年 
JST資料番号： H0095C  ISSN： 1388-6150  CODEN： JTHEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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シリコンウエハ基板上に浸漬塗布によって膜厚25~250nm(...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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浸漬塗装

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準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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TPD【脱着】

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分類 (2件)：
分類
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その他の無触媒反応 
(CB06070U)

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,  塩基,金属酸化物 
(CD01030Z)

塩基,金属酸化物 について

タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
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浸漬

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作製

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インジウムすず酸化物

インジウムすず酸化物 について

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水蒸気

水蒸気 について


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