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J-GLOBAL ID:200902203654416974   整理番号:03A0612307

半導体製造用紫外線硬化感圧接着剤.I.容易に剥離できるダイシングテープ

UV Curable Pressure-Sensitive Adhesives for Fabricating Semiconductors. I. Development of Easily Peelable Dicing Tapes
著者 (3件):
資料名:
巻: 90  号:ページ: 436-441  発行年: 2003年10月10日 
JST資料番号: C0467A  ISSN: 0021-8995  CODEN: JAPNAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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ポリオレフィンフィルムを基材とした紫外線硬化感圧接着剤(PS...
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分類 (2件):
分類
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固体デバイス製造技術一般  ,  各種接着剤 
タイトルに関連する用語 (4件):
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