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J-GLOBAL ID:200902204225501838   整理番号:04A0265955

12相交流電源を用いた高密度プラズマの生成

High Density Plasma Generation by 12-phase AC Voltage Source
著者 (1件):
資料名:
巻: 11  ページ: 141-144  発行年: 2003年12月 
JST資料番号: L4460A  ISSN: 1340-3214  CODEN: POKAFE  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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12相交流電源を用いてプラズマの生成を行い,プラズマの特性を...
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準シソーラス用語:
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分類 (1件):
分類
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プラズマ生成・加熱 
タイトルに関連する用語 (1件):
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