文献
J-GLOBAL ID:200902204225501838 整理番号:04A0265955
12相交流電源を用いた高密度プラズマの生成
High Density Plasma Generation by 12-phase AC Voltage Source
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著者 (1件):
橋本好幸
橋本好幸 について
名寄せID(JGPN) 200901100552882612 ですべてを検索
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(
神戸高専
)
神戸高専 について
名寄せID(JGON) 202351000184507330 ですべてを検索
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資料名:
プラズマ応用科学 (Applied Plasma Science)
プラズマ応用科学 について
JST資料番号 L4460A ですべてを検索
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巻:
11
ページ:
141-144
発行年:
2003年12月
JST資料番号:
L4460A
ISSN:
1340-3214
CODEN:
POKAFE
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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12相交流電源を用いてプラズマの生成を行い,プラズマの特性を...
シソーラス用語:
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*プラズマ生成
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圧力依存性
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分類 (1件):
分類
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プラズマ生成・加熱
(BJ02060E)
プラズマ生成・加熱 について
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タイトルに関連する用語
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高密度プラズマ
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