ArF及びF<sub>2</sub>エキシマレジスト上の微小気泡の付着機構

文献

J-GLOBAL ID：200902204268744637 整理番号：05A0022923

ArF及びF₂エキシマレジスト上の微小気泡の付着機構

Adhesion Mechanism of Micro Bubbles on ArF and F₂ Excimer Resists

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巻： 17 号： 5 ページ： 713-714 発行年： 2004年
JST資料番号： L0202A ISSN： 0914-9244 CODEN： JSTEEW 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

ArF及びF₂エキシマレジスト表面上の...

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固体デバイス製造技術一般

引用文献 (2件)：

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