画期的バイモルフマイクロオプトメカニカルセンサの設計と製作

LIM Si-Hyung; CHOI Jongeun; HOROWITZ Roberto; MAJUMDAR Arunava

文献

J-GLOBAL ID：200902205005949036 整理番号：05A0739128

画期的バイモルフマイクロオプトメカニカルセンサの設計と製作

Design and Fabrication of a Novel Bimorph Microoptomechanical Sensor

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資料名：
巻： 14 号： 4 ページ： 683-690 発行年： 2005年08月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

マイクロ片持梁センサは,温度と面応力の微小変化を含む極めて小...

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温度測定,温度計 , 干渉測定と干渉計

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