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J-GLOBAL ID：200902205580796675   整理番号：08A0286240

イオンビーム照射ポリフッ化ビニリデン薄膜のエッチング挙動 エッチング前処理・照射イオン効果の検討

Etching Behavior of Poly(vinylidene fluoride) Thin Films Irradiated with Ion Beams-Effect of Irradiated Ions and Pretreatment

著者 (9件)： 八巻徹也 ((独)日本原子力研究開発機構量子ビーム応用研究部門) ,  ROHANI Rosiah ((独)日本原子力研究開発機構量子ビーム応用研究部門) ,  越川博 ((独)日本原子力研究開発機構量子ビーム応用研究部門) ,  高橋周一 ((独)日本原子力研究開発機構量子ビーム応用研究部門) ,  長谷川伸 ((独)日本原子力研究開発機構量子ビーム応用研究部門) ,  浅野雅春 ((独)日本原子力研究開発機構量子ビーム応用研究部門) ,  VOSS Kay-obbe (Materials Res. Dep., Gesellschaft fuer Schwerionenforschung mbH (GSI)) ,  NEUMANN Reinhard (Materials Res. Dep., Gesellschaft fuer Schwerionenforschung mbH (GSI)) ,  前川康成 ((独)日本原子力研究開発機構量子ビーム応用研究部門)
資料名： 高分子論文集  (Japanese Journal of Polymer Science and Technology)
巻： 65  号： 3  ページ： 273-276 (J-STAGE)  発行年： 2008年 
JST資料番号： G0122A  ISSN： 0386-2186  CODEN： KBRBA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 4種類のイオンビームで照射されたポリ(ビニリデンフルオリド)薄膜を,異なった温度で30日間または90日間大気中で保管後に9M-KOH水溶液に暴露した。電気伝導度測定法によると,120°Cの加熱は全体におけるそれを変えることのなく潜トラックにおけるエッチ速度を増すことがわかった。その結果,ナノ径貫通孔調製に非常に高いエッチング感度を得た。この前処理の間のヒドロ過酸化物の生成は,エッチング剤の導入を容易にしエッチング能を向上する。より高い線エネルギー付与(LET)イオンの照射は,各トラックがより多くの活性化部位(ラジカルのような)を含むことを引き起こして,さらに,エッチングの高感度を達成するために望ましかった。

シソーラス用語： *エッチング ,  *イオンビーム加工 ,  *イオン照射 ,  ポリフッ化ビニリデン ,  水酸化カリウム ,  電気伝導率 ,  加熱 ,  線エネルギー付与 ,  活性部位 ,  高感度
準シソーラス用語： LET ,  エッチング能 ,  電気伝導度

分類 (1件)： 高分子固体の物理的性質  (CG02024U)

引用文献 (12件)：

• 1) R. Spohr, “Ion Tracks and Microtechnology: Principles and Applications”, Vieweg Verlag, Wiesbaden (1990).
• 2) T. Yamaki, Y. Kozone, A. Hiroki, M. Asano, H. Kubota, and M. Yoshida, ECS Transactions, 3, 103 (2006).
• 3) T. Yamaki, Y. Kozone, A. Hiroki, K. Hosoi, M. Asano, H. Kubota, and M. Yoshida, Electrochemistry, 75, 175 (2007).
• 4) H. Kohli, C. C. Harrel, Z. Cao, R. Gasparac, W. Tan, and C. R. Martin, Science, 305, 984 (2004).
• 5) S. P. Tretyakova, V. V. Shirkova, N. B. Khitrova, and C. Borcea, Int. J. Radiat. Appl. Instrum. Part D, 12, 75 (1986).

タイトルに関連する用語 (7件)： イオンビーム照射 ,  ポリフッ化ビニリデン ,  薄膜 ,  エッチング ,  挙動 ,  前処理 ,  イオン