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J-GLOBAL ID：200902206366076505   整理番号：05A0383503

極短パルスレーザーを用いたフッ素樹脂のアブレーション加工

Ultrashort-Pulse Laser Ablation of Fluoropolymer.

著者 (6件)： 三島英彦 (住友電気工業) ,  増田泰人 (住友電気工業) ,  奥田泰弘 (住友電気工業) ,  橋田昌樹 (京大) ,  清水政二 (京大) ,  阪部周二 (京大)
資料名： 電気学会光・量子デバイス研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： OQD-05  号： 1-10  ページ： 23-27  発行年： 2005年 
JST資料番号： Z0922A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 従来のレーザ加工では熱影響等により,精度の良さには限界があっ...

シソーラス用語： *フッ素樹脂 ,...
準シソーラス用語： 極短パルス ,...

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分類 (3件)： ハロゲン含有重合体  (YH07100Z) ,  特殊加工  (QC04000Y) ,  レーザの応用  (BD04100V)

引用文献 (10件)：

• MOMMA, C. Precise laser ablation wiht ultrashort pulses. Appl. Surf. Sci. 1997, 109, 15-19
• ZORBA, V. Laser microstructuring of Si surfaces for low-threshold field-electron emission. Thin Solid Films. 2004, 453-454, 492-495
• DUMITRU, G. Femtosecond laser ablation of diamond-like carbonfilms. Appl. Surf. Sci. 2004, 222, 226-233
• WANG, Z. B. Femtosecond laser ablation of polytetrafluoroethylene (Teflon) in ambient air. J. Appl. Phys. 2003, 93, 6375-6380
• NAKAMURA, S. Effect of Pulse Duration on Ablation Characteristics Tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene Copolymer Film Using Ti : sapphire Laser. Jpn. J. Appl. Phys. 1996, 35, 101-106

タイトルに関連する用語 (3件)： 極短パルスレーザー ,  フッ素樹脂 ,  アブレーション