二重パターン化のリソオンリー手法

VANLEENHOVE A.; VAN STEENWINCKEL D.

文献

J-GLOBAL ID：200902206871941598 整理番号：07A0731300

二重パターン化のリソオンリー手法

A litho-only approach to double patterning

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資料名：
巻： 6520 号： Pt.2 ページ： 65202F.1-65202F.10 発行年： 2007年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

リソグラフィーステップ間のエッチングステップを省く二重パター...

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固体デバイス製造技術一般

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