低圧容量結合水素放電の系統的キャラクタリゼーション

SALABAS A; MARQUES L; JOLLY J; GOUSSET G; ALVES L L

文献

J-GLOBAL ID：200902206940853590 整理番号：04A0382461

低圧容量結合水素放電の系統的キャラクタリゼーション

Systematic characterization of low-pressure capacitively coupled hydrogen discharges

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資料名：
巻： 95 号： 9 ページ： 4605-4620 発行年： 2004年05月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

平行平板円筒状装置内での標記放電の特性を調べた。二次元流体モ...

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