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J-GLOBAL ID：200902207238540653   整理番号：09A0441802

Si(100)表面からの重水素の再結合脱離における実質的に低い脱着バリヤー

Substantially low desorption barriers in recombinative desorption of deuterium from a Si(100) surface

著者 (4件)： NARITA Y. (Dep. of Electrical Engineering, Kyushu Inst. of Technol., Kitakyushu 804-8550, JPN) ,  KIHARA Y. (Dep. of Electrical Engineering, Kyushu Inst. of Technol., Kitakyushu 804-8550, JPN) ,  INANAGA S. (Dep. of Electrical Engineering, Kyushu Inst. of Technol., Kitakyushu 804-8550, JPN) ,  NAMIKI A. (Dep. of Electrical Engineering, Kyushu Inst. of Technol., Kitakyushu 804-8550, JPN)
資料名： Surface Science  (Surface Science)
巻： 603  号： 9  ページ： 1168-1174  発行年： 2009年05月01日 
JST資料番号： C0129B  ISSN： 0039-6028  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 温度プログラム脱着(TPD)スペクトルおよび等温脱離によるSi(100)表面からの重水素分子の脱着動力学について検討を行った。β_1,A,β_1,BおよびCとして示された3つの脱着成分は,TPDスペクトルの半対数のプロットにおいて識別することができた。それらのピーク位置および強度は,アニーリングをして初期D被覆θ_D⁰を制御するか,あるいはそれをしない表面調製方法により強く影響された。ピークCは,TPDピークの最先端で現われた。ピークCは,θ_D⁰=1MLでTPDピークの約5%のみであり,θ_D⁰の減少に伴い急速に縮小し,θ_D⁰=0.5MLで消失した。これに対して,β_1,Aおよびβ_1,Bピークは,1.0ML未満のθ_D⁰ですべてのTPDピークでなるものであった。β_1,Aピークの最大は,TPDピークの最大温度付近でほぼ一定であった。一方,β_1,Bピークは,TPDピークの高温側に現われ,θ_D⁰の減少に伴って高温に体系的にシフトした。これらの結果は,1次および2次の動力学が,β_1,Aおよびβ_1,Bの脱離にそれぞれ作用することを意味するものであった。等温脱着試験により,有限領域,すなわちθ_D⁰<0.5MLの上記の予想された動力学について検討を行った。速度曲線分析による結果から,脱着バリヤーは,β_1,Aおよびβ_1,B脱離でそれぞれ,1.6±0.1eVおよび1.8±0.1eVと評価された。これらの値は,広く認められている2.5eVまでの値よりも実質的に低かった。TPDスペクトルを再生するために,β_1,Aおよびβ_1,B脱離の1次および2次速度を含むArrhenius型の速度方程式を用いた。θ_D⁰<0.4MLで測定されたTPDスペクトルは,E_d,AおよびE_d,Bの上記値を用いる場合,合理的に提案された速度方程式に適応することができた。しかしながら,θ_D⁰>0.4MLにおいて,TPD曲線は,同じ値で適応されず,むしろ,最適曲線は,上記の値よりも高いE_d,AおよびE_d,Bの値が必要であった。本研究の動力学による結果と,STMにより得られた結果を組み合わせ,β_1,Aおよびβ_1,Bピークは,2Hパスに基づく脱離に寄与し,ピークCは,4Hパスに基づく脱離に寄与しているものと考えられた。脱着バリヤーと等比容吸着熱のエネルギー関係と共に,原子論の脱着メカニズムが検討された。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *ケイ素 ,  *脱着 ,  *障害物 ,  *重水素 ,  *再結合 ,  動力学 ,  昇温脱離 ,  吸着熱 ,  Arrheniusの式 ,  脱着速度
準シソーラス用語： *バリア ,  温度プログラム脱着 ,  *脱離

分類 (3件)： 無機化合物一般及び元素  (CD01010D) ,  界面化学一般  (CB12010J) ,  分子間相互作用  (BH07020P)

タイトルに関連する用語 (6件)： Si ,  重水素 ,  再結合 ,  脱離 ,  脱着 ,  バリヤー