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J-GLOBAL ID：200902207303491703   整理番号：05A0432685

RF誘導プラズマ中への液体前駆体の吹込みによるTaCナノ粉体の合成の制御

Controlling the synthesis of TaC nanopowders by injecting liquid precursor into RF induction plasma

著者 (4件)： ISHIGAKI Takamasa (National Inst. for Materials Sci., Ibaraki, JPN) ,  OH Seung-Min (National Inst. for Materials Sci., Ibaraki, JPN) ,  LI Ji-Guang (National Inst. for Materials Sci., Ibaraki, JPN) ,  PARK Dong-Wha (Inha Univ., Incheon, KOR)
資料名： Science and Technology of Advanced Materials  (Science and Technology of Advanced Materials)
巻： 6  号： 2  ページ： 111-118  発行年： 2005年03月 
JST資料番号： W1262A  ISSN： 1468-6996  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記の目的で,水素の添加量,プロセス圧力,キャリヤガス流速,...

シソーラス用語： RF放電 ,...
準シソーラス用語： *プラズマプロセシング ,...

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分類 (2件)： 塩  (CD01050V) ,  セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

物質索引 (1件)： タンタル(V)ペンタエトキシド

タイトルに関連する用語 (6件)： RF ,  誘導プラズマ ,  前駆体 ,  吹込み ,  TAC ,  ナノ粉体