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J-GLOBAL ID：200902207718811789   整理番号：05A0392797

ファイバ型光制御デバイスのための三次元的微細加工

Three-dimensional micro-machining for fiber type optical control devices

著者 (4件)： 熊崎裕教 (岐阜工高専) ,  稲葉成基 (岐阜工高専) ,  羽根一博 (東北大) ,  那須祐治 (関西電力 野江電力システムセ)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 125  号： 5  ページ： 211-215  発行年： 2005年05月01日 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ファイバ型デバイスは伝送路との接合が容易で光通信に有用だが光...

シソーラス用語： *光ファイバ ,...
準シソーラス用語： ファイバ型デバイス ,...

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分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

引用文献 (10件)：

• (1) S. Yamashita : “Present status and future prospects of fiber devices”, Oyo buturi, Vol. 73, No. 11, pp. 1385-1395 (2004-11) (in Japanese)
• 山下真司:「光ファイバー型デバイスの現状と展望」,応用物理,Vol. 73, No. 11, pp. 1385-1395 (2004)
• (2) S. Mononobe, M. Naya, T. Saiki, and M. Ohtsu : “Reproducible fabrication of a fiber probe with a nanometric protrusion for near-field optics”, Appl. Optics, Vol. 36, No. 7, pp. 1496-1500 (1997)
• (3) C. H. Lee, S. D. Allen : “Noncontact single-fiber-optic proximity sensor using a laser-fabricated tap”, Appl. Optics, Vol. 36, No. 10, pp. 2217-2221 (1997)
• (4) H. Kumazaki, Y. Yamada, T. Oshima, S. Inaba, and K. Hane : “Micromachining of Optical Fiber Using Reactive Ion Etching and Its Application”, Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 39, No. 12B, pp. 7142-7144 (2000)

タイトルに関連する用語 (3件)： ファイバ ,  光制御デバイス ,  微細加工