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J-GLOBAL ID：200902207727135010   整理番号：08A0466430

片持梁の移動によるダストの蓄積および分散に関連する表面力

Surface Forces related to the Accumulation and Dispersion of Dust due to the Locomotion of a Cantilever

著者 (3件)： CHOI Seungchol (Horie Group, Precision and Intelligence Lab., Tokyo Inst. of Technol.) ,  HORIE Mikio (Precision and Intelligence Lab., Tokyo Inst. of Technol.) ,  ANDO Yasuhisa (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol.)
資料名： Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing (Web)  (Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing (Web))
巻： 2  号： 2  ページ： 252-264 (J-STAGE)  発行年： 2008年 
JST資料番号： U0027A  ISSN： 1881-3054  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 表面力のためマイクロマシンは空中を移動できないから,マイクロマシンの信頼性について解決すべき難しい問題が多数ある。表面力はダストや汚染物質に強く左右される。従って,マイクロマシンの移動に関係した相互作用的な接触面間におけるマイクロ・アップリケーションの着脱を考察すべきである。著者らは空中における片持ち梁の移動による接触面力に影響することを観察した。最初に,先端に接着させたガラス球(曲率半径:R=10μmの乾燥ほうけい酸ガラス球)付きステンレス鋼片持ち梁を製作した。さらに,著者らは,FIB(集束イオンビーム)によりステンレス鋼片持ち梁のマイクロ球の表面に凹凸を配列させた。実験はAFM(原子間力顕微鏡)を使って行った。その結果,接触面力は空中のダストデブリによって著しく影響を受けることが分かった。凹凸を配列させた球は,片持ち梁の同一標準ばね定数(=k_n)を用いた摩擦仕事で凹凸配列のない球よりもダストの蓄積を邪魔しやすい。さらに,凹凸配列でない場合には,球表面上でのダストの蓄積は幅広の片持ち梁よりも薄い片持ち梁の方が少ない。汚染物質の蓄積で接触面力が増えるのを防ぐために,マイクロマシンは移動すると同時に,苛酷な自然条件と接触する任意の表面上に凹凸を配列しなければならない。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,  *片持梁 ,  ステンレス鋼 ,  *塵埃 ,  汚染物質 ,  *表面力 ,  蓄積 ,  分散【dispersion】 ,  球 ,  ガラス
準シソーラス用語： *ダスト ,  接触面

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

引用文献 (22件)：

• (1) Stanislav N. Gorb, Rolf G. Beutel, Elena V. Gorb, Integr., Comp., Biol., Vol. 42 (2002) pp. 1127∼1139.
• (2) Gerrit huber, Stanislav N. Gorb, PNAS, Vol. 102 (2005), No. 45, pp. 16293-16296.
• (3) W. R. Hansen, K. Autumn, PNAS, Vol. 102, No. 2 (2005) pp. 385-389.
• (4) K. Autumn, Yu Tian, PNAS, Vol. 103, No. 51 (2006), pp. 19320-19325.
• (5) William A. Ducker, Tim J. Senden & Richard M. Pashley, Nature, Vol. 353 (1991), pp. 239-241.

タイトルに関連する用語 (4件)： 片持梁 ,  ダスト ,  蓄積 ,  表面力