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J-GLOBAL ID：200902208540026930   整理番号：07A0715941

衝撃電界下における電子衝突によるCF₄解離反応のエネルギー効率

著者 (5件)： 荒木田大嗣 (北大) ,  森直樹 (北大) ,  菅原広剛 (北大) ,  須田善行 (北大) ,  酒井洋輔 (北大)
資料名： 電気・情報関係学会北海道支部連合大会講演論文集(CD-ROM)  (Joint Convention Record, the Hokkaido Chapters of the Institutes of Electrical and Information Engineers, Japan (CD-ROM))
巻： 2006  ページ： ROMBUNNO.61  発行年： 2006年10月28日 
JST資料番号： L1739B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体産業における集積回路製造工程では地球温暖化係数が高く,大気寿命も長いCF₄を利用するので効率的に分解する必要がある。本論文では,衝撃電界重畳法を用いて電子をCF₄分子と衝突させることでCF₄解離反応を起こさせる場合に,エネルギー効率の高いエネルギー領域を狙うことで選択的に分解反応を促進させる方法を検討した。まず,CF₄ガス圧1Torr,温度0度,1000V/cmの衝撃電界を60nsごとに繰り返し印加し,モンテカルロ法によって電子が衝突でエネルギーを失う過程を追跡した。次に,電界によって与えられたエネルギーが各衝突で消費したエネルギーの割合を計算し,電界の印加時間を変えて電子の加速量を調整すると各衝突で消費されるエネルギーが異なることがわかった。特に,CF₄分解に関与する解離と電離のエネルギー効率から,16?18eV付近のエネルギー領域を狙って加速することでCF₄分解を高効率化できる可能性が示唆された。

シソーラス用語： *電子衝突 ,  *集積回路 ,  *半導体プロセス ,  解離 ,  電場 ,  モンテカルロ法 ,  エネルギー消費 ,  イオン化 ,  エネルギー領域 ,  効率化 ,  フロン
準シソーラス用語： フッ化炭素 ,  消費エネルギー ,  衝撃電界 ,  電離

分類 (2件)： 電子と分子の衝突・散乱  (BH07030A) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 衝撃 ,  電界 ,  電子衝突 ,  解離反応 ,  エネルギー効率