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J-GLOBAL ID：200902208964292479   整理番号：08A0466431

二自由度螺旋状マイクロミラーマニピュレータの製造および空間機械的組立

2 Degree-of-Freedom Spiral Micromirror Manipulator Fabrication and Spatial Mechanical Assembling

著者 (4件)： SADAT Seid Hossein (Interdisciplinary Graduate School of Sci. & Engineering, Tokyo Inst. of Technol.) ,  KAMIYA Daiki (Precision & Intelligence Lab., Tokyo Inst. of Technol.) ,  BAGHERI Saeed (School of Engineering, Tokyo Inst. of Technol.) ,  HORIE Mikio (Interdisciplinary Graduate School of Sci. & Engineering, Tokyo Inst. of Technol.)
資料名： Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing (Web)  (Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing (Web))
巻： 2  号： 2  ページ： 265-270 (J-STAGE)  発行年： 2008年 
JST資料番号： U0027A  ISSN： 1881-3054  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 著者らは,自由空間光スイッチング用新しい螺旋状マイクロミラーマニピュレータの製造・組立工程について提示した。このマニピュレータは2つの異なる部品から成り,これらの部品を従来の表面マイクロマシニングプロセスにより製造した。組み立てたデバイスのフットプリントは約600μmであり,マイクロ角錐の高さは200μmである。一体式で自己組立特性を備えたデバイスを優先にしている従来のマイクロシステム設計にもかかわらず2つの部品を2つの異なる素子チップ上に作製した。次いでこれらの部品を空間機械的手法を用いて組み立てた。多くの螺旋状および角錐部品を別々に製造し,単一アクチュエータで最初の組み立て試験を行った。本論文では,これら部品の製造に使われる表面マイクロマシニングプロセスを提示し,それらの感度および問題点について検討した。空間機械的組み立て結果を提示するとともに工程上の問題について検討した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： MEMS ,  光スイッチ ,  *反射鏡 ,  マイクロマシニング ,  螺旋 ,  *マニピュレータ ,  製造 ,  *組立 ,  アクチュエータ ,  *マイクロミラー ,  *ロボット

分類 (2件)： ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (8件)：

• 1. V. A. Aksyuk, F. Pardo, D. Carr, D. Greywall, H. B. Chan, M. E. Simon, A. Gasparyan, H. Shea, V. Lifton, C. Bolle, S. Arney, R. Frahm, M. Paczkowski, M. Haueis, R. Ryf, D. T. Neilson, J. Kim, C. R. Giles, and D. Bishop, “Beam-steering micromirrors for large optical cross-connects,” J. Lightwave Technology., Vol. 21, pp. 634-642, 2003.
• 2. H. Toshiyoshi and H. Fujita, “Electrostatic micro torsion mirrors for an optical switch matrix,” Microelectromechanical systems, Vol. 5, No. 4, pp. 231-237, 1996.
• 3. R. Ryf, J. Kim, J. Hickey, A. Gnauck, D. Carr, F. Pardo, C. Bolle, R. Graham, N. Basavanhally, C. Yoh, D. Ramsey, R. Boie, R. George, J. Kraus, C. Lichtenwalner, R. Papazian, J. Gates, H. Shea, A. Gasparyan, V. Muratov, and J. Griffith, “1296-port MEMS transparent optical crossconnect with 2.07 Petabit/s switch capacity,” in OFC 2001, Vol. 54 OSA Trends in Optics and Photonics Series (Opt. Soc. Amer., Washington, DC2001), 2001, post deadline paper, PD28.
• 4. P. B. Chu, S.-S. Lee, and S. Park, “MEMS: the path to large optical cross-connects,” IEEE Commun. Mag., no. 3, pp. 80-87, 2002.
• 5. B. Mi, D. A. Smith, H. Kahn, F. L. Merat, A. H. Heuer, Stephen M. Phillips, “Static and electrically actuated Shaped MEMS mirrors”, Microelectromechanical systems, Vol. 14. No. 1, 2005, pp. 29-36.

タイトルに関連する用語 (5件)： 自由度 ,  螺旋状 ,  マイクロミラー ,  マニピュレータ ,  組立