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J-GLOBAL ID：200902210631547822   整理番号：05A0808039

ピロールモノマからRF PE-CVDで製作したDLC薄膜の性質

Properties of DLC thin films produced by RF PE-CVD from pyrrole monomer

著者 (4件)： TAKAI O. (EcoTopia Sci. Inst., Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa, Nagoya 464-8603, JPN) ,  ANITA V. (EcoTopia Sci. Inst., Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa, Nagoya 464-8603, JPN) ,  ANITA V. (“AL.I.Cuza” Univ., Dep. of Plasma Physics, Iasi-6600, ROM) ,  SAITO N. (Dep. of Molecular Design and Engineering, Graduate School of Engineering, Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa, Nagoya ...)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 200  号： 1-4  ページ： 1106-1109  発行年： 2005年10月01日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 容量結合RF作動プラズマ増強化学蒸着(PE-CVD)装置で得...

シソーラス用語： *DLC膜 ,...

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分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

物質索引 (1件)： ピロール

タイトルに関連する用語 (6件)： RF ,  PE ,  CVD ,  製作 ,  DLC薄膜 ,  性質