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J-GLOBAL ID：200902210711979863   整理番号：05A0905427

最近の話題を追って(I)MEMSとμTASにおける表面の利用と表面処理

著者 (1件)： 小寺秀俊 (京大 大学院工学研究科)
資料名： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
巻： 56  号： 10  ページ： 572-579  発行年： 2005年10月01日 
JST資料番号： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： MEMSとμTAS(Micro Total Analysis...

シソーラス用語： *電気機械効果 ,...
準シソーラス用語： マイクロTAS

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分類 (2件)： 生体計測・解析一般  (EL03010R) ,  固体デバイス材料  (NC03020K)

引用文献 (15件)：

• 1) H. C. Natharson W. E. Newell, R. A. Wickstrom and J. R. Davis Jr. ; IEEE Trans. Electron Dev., 14, 117 (1967)
• 2) L. S. Fan, Y. C. Tai and R. S. Muller ; IEEE Trans. Electron Dev., 35, 724 (1988)
• 3) 平沢 拓, 小寺秀俊;シミュレーション学会誌, 21, 255 (2002)
• 4) F. C. Yin and Y. C. Fung ; J. Fluid. Mech., 47, 93 (1971)
• 5) N. T. Nguyen, X. Y. Huang and T. K. Chuan ; Areview ASME J. Fluid Eng., 124, 284 (2002)

タイトルに関連する用語 (4件)： 話題 ,  MEMS ,  μTAS ,  表面処理