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J-GLOBAL ID:200902210800710550   整理番号:04A0772856

マイクロ・ステレオ・リソグラフィーで作られた微小片持ちはりのYoung率の制御

Young’s Modulus Control of the Micro Cantilever made by Micro-Stereolithography
著者 (6件):
資料名:
巻: 21st  ページ: 229-232  発行年: 2004年10月14日 
JST資料番号: X0768A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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感光性樹脂にレーザー光を当てて光重合により3次元の微小構造体...
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分類 (1件):
分類
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固体デバイス材料 

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