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J-GLOBAL ID：200902211524513962   整理番号：03A0845903

微細形状測定データにおける異常値の検出と処理

著者 (3件)： 野尻啓太 (東京工大 大学院) ,  原精一郎 (東京工大 大学院) ,  笹島和幸 (東京工大 大学院)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2003  号： 春季(CD-ROM)  ページ： 472  発行年： 2003年03月05日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *形状測定 ,...
準シソーラス用語： 局所統計量

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分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (3件)： 微細形状 ,  測定データ ,  異常値