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J-GLOBAL ID：200902211609859345   整理番号：08A0231843

ガラス表面洗浄用の超高電子密度の非平衡大気圧プラズマと高性能

Nonequilibrium atmospheric pressure plasma with ultrahigh electron density and high performance for glass surface cleaning

著者 (7件)： IWASAKI Masahiro (Dep. of Electrical Engineering and Computer Sci., Graduate School of Engineering, Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku ...) ,  INUI Hirotoshi (Dep. of Electrical and Electronic Engineering, Graduate School of Sci. and Technol., Meijo Univ., 1-501 ...) ,  MATSUDAIRA Yuto (Dep. of Electrical Engineering and Computer Sci., Graduate School of Engineering, Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku ...) ,  KANO Hiroyuki (NU Eco-Engineering Co., Ltd., 1237-87 Kurozawa, Miyoshi-cho, Nishikamo-gun, Aichi 470-0201, JPN) ,  YOSHIDA Naofumi (Fuji Machine Mfg. Co., Ltd., 19 Chausuyama, Yamamachi, Chiryu, Aichi 472-8686, JPN) ,  ITO Masafumi (Dep. of Opto-Mechatronics, Fac. of Systems Engineering, Wakayama Univ., 930 Sakaedani, Wakayama 640-8510, JPN) ,  HORI Masaru (Dep. of Electrical Engineering and Computer Sci., Graduate School of Engineering, Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku ...)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 92  号： 8  ページ： 081503  発行年： 2008年02月25日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ニ電極間の交流電流を印加して非平衡大気圧プラズマを生成した。発光分光法を用いて気体温度と電子密度を評価した。プラズマの気体温度は1800~2150K,電子密度は10¹⁶ cm^-3であった。15標準リットル/分で1%O₂/Ar気体を流し,1.6×10¹⁵cm^-3の極めて高い酸素ラジカル濃度を得た。プラズマ曝露時間23msのガラス洗浄過程で接触角<10°を得た。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 電子密度 ,  気圧 ,  プラズマ ,  *発光分光法 ,  ラジカル ,  プラズマ曝露 ,  接触角 ,  *洗浄 ,  *プラズマ生成 ,  ガラス
準シソーラス用語： 大気圧

分類 (1件)： プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (5件)： ガラス ,  表面洗浄 ,  非平衡 ,  大気圧プラズマ ,  高性能