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文献
J-GLOBAL ID:200902211683901817   整理番号:08A0368438

Al-BN固液反応におけるAlN生成過程に及ぼすBの効果

Effect of Boron for the AlN Formation in the Al-BN Solid-Liquid Reaction Process
著者 (4件):
資料名:
巻: 72  号:ページ: 295-298 (J-STAGE)  発行年: 2008年
JST資料番号: G0023A  ISSN: 0021-4876  CODEN: NIKGAV  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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溶融AlとNとを反応させAlNを合成することを試みた。この際,溶融AlにBNあるいはBを加え,雰囲気をArあるいはN2ガスとした。BNの添加量はAlとの比率を1/6とし,Bは2at%とした。反応温度はBNの場合,1180°C,Bの場合,1200°Cとした。反応後,サンプルについて光学顕微鏡,FE-SEM,EDXおよびXRDを用いてキャラクタリゼーションを実施した。この結果,BNを用いた場合,ArおよびN2ガスいずれの雰囲気においてもAlNが生成することが明らかとなった。また,Bの存在下においてN2ガス雰囲気で1200°CにおいてもAlNが生成することが分かった。これらの結果から,溶融AlとNとの反応においてBの存在が何らかの役割を果たすと結論づけた。
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塩 
引用文献 (8件):
  • 1) S. Strite and Morkoc: J. Vac. Sci. Technol. B10(1992) 1237.
  • 2) K. Shinozaki, Y. Sawada and N. Mizutani: Ceramic Transaction 71(1996) 307-21.
  • 3) Y. Oya-Seimiya, K. Onodera, T. Yamaguti and T. Shinoda: Journal of JILM 57(2007) 405-410.
  • 4) Japan patent: 2004079-MU: A Process of Aluminum Nitride.
  • 5) International patent PCT: GP33/2005: A Process of Aluminum Nitride Composite.
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