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J-GLOBAL ID：200902211683901817   整理番号：08A0368438

Al-BN固液反応におけるAlN生成過程に及ぼすBの効果

Effect of Boron for the AlN Formation in the Al-BN Solid-Liquid Reaction Process

著者 (4件)： 水野愛 (明星大学理工学部) ,  篠田哲守 (明星大学理工学部) ,  大塚寛治 (明星大学理工学部) ,  清宮義博 (明星大学理工学部)
資料名： 日本金属学会誌  (Journal of the Japan Institute of Metals and Materials)
巻： 72  号： 4  ページ： 295-298 (J-STAGE)  発行年： 2008年 
JST資料番号： G0023A  ISSN： 0021-4876  CODEN： NIKGAV  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 溶融AlとNとを反応させAlNを合成することを試みた。この際,溶融AlにBNあるいはBを加え,雰囲気をArあるいはN₂ガスとした。BNの添加量はAlとの比率を1/6とし,Bは2at%とした。反応温度はBNの場合,1180°C,Bの場合,1200°Cとした。反応後,サンプルについて光学顕微鏡,FE-SEM,EDXおよびXRDを用いてキャラクタリゼーションを実施した。この結果,BNを用いた場合,ArおよびN₂ガスいずれの雰囲気においてもAlNが生成することが明らかとなった。また,Bの存在下においてN₂ガス雰囲気で1200°CにおいてもAlNが生成することが分かった。これらの結果から,溶融AlとNとの反応においてBの存在が何らかの役割を果たすと結論づけた。

シソーラス用語： *窒化アルミニウム ,  ホウ素 ,  窒化ホウ素 ,  *アルミニウム ,  溶融金属 ,  *窒化 ,  雰囲気 ,  結晶構造 ,  窒素

分類 (1件)： 塩  (CD01050V)

引用文献 (8件)：

• 1) S. Strite and Morkoc: J. Vac. Sci. Technol. B10(1992) 1237.
• 2) K. Shinozaki, Y. Sawada and N. Mizutani: Ceramic Transaction 71(1996) 307-21.
• 3) Y. Oya-Seimiya, K. Onodera, T. Yamaguti and T. Shinoda: Journal of JILM 57(2007) 405-410.
• 4) Japan patent: 2004079-MU: A Process of Aluminum Nitride.
• 5) International patent PCT: GP33/2005: A Process of Aluminum Nitride Composite.

タイトルに関連する用語 (4件)： Al ,  BN ,  AlN ,  過程