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J-GLOBAL ID：200902212357843579   整理番号：09A1263132

「顕微鏡法による材料開発のための微細構造研究最前線(9)」-先端顕微鏡法開発がもたらす材料科学の新たな展開-(a)プローブ・光学系の高度化による新展開 回折顕微法による原子配列構造の可視化-制限視野回折図形からのSiダンベル構造再生-

著者 (3件)： 山崎順 (名古屋大 エコトピア科研) ,  田中信夫 (名古屋大 エコトピア科研) ,  森下茂幸 (名古屋大)
資料名： まてりあ  (Materia Japan)
巻： 48  号： 12  ページ： 604  発行年： 2009年12月01日 
JST資料番号： F0163A  ISSN： 1340-2625  CODEN： MTERE2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 制限視野絞りの電子線遮蔽領域を拘束条件に用いることにより,手法の汎用性を大きく改善した。また,平行照射によるビーム干渉性の増大により,高精度の再構成を達成した。ナノ領域を選択するための極小サイズの制限視野絞りをFIBにて作製した。真空領域とシリコン結晶薄膜をそれぞれ選択した際のTEM像を示した。収差補正TEMを用い,対物レンズの球面収差に起因する領域選択誤差は回避できた。シリコン結晶の〈011〉回折図形を元に試料下面波動場を再生した。絞り穴の内部にシリコン結晶の原子配列構造が明瞭に再生され,ダンベル構造の間隔0.136nmが十分に分離した。回折顕微法を用いて個々の原子列を明確に再現した例であり,局所ナノ構造を原子レベルで結像する新しい手法である。

シソーラス用語： 配列 ,  可視化 ,  *ケイ素 ,  制限視野回折 ,  拘束 ,  結晶 ,  *薄膜 ,  球面収差 ,  ナノ構造 ,  波動場 ,  遮蔽 ,  干渉 ,  対物レンズ ,  亜鈴 ,  集束イオンビーム
準シソーラス用語： ダンベル ,  原子配列

分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

引用文献 (1件)：

• (1) S. Morishita, J. Yamasaki, K. Nakamura, T. Kato and N. Tanaka: Appl. Phys. Lett., 93(2008), 183103.

タイトルに関連する用語 (17件)： 顕微鏡法 ,  開発 ,  微細構造 ,  研究 ,  材料科学 ,  展開 ,  プローブ ,  光学系 ,  高度化 ,  回折 ,  顕微法 ,  原子配列 ,  可視化 ,  制限視野回折 ,  図形 ,  Si ,  ダンベル