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J-GLOBAL ID：200902212634927122   整理番号：05A1019009

低開口数投影露光リソグラフィを用いた厚膜レジストパタン形成とマイクロ部品製造への応用

Thick Resist Pattern Replication Using Low Numerical-Aperture Projection Lithography and It’s Application to Fabrication of Micro Components

著者 (2件)： 広田克範 (東京電機大 大学院) ,  堀内敏行 (東京電機大 大学院)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 70  号： 1  ページ： 138-143  発行年： 2004年01月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,超小型の加速度センサ,角速度センサ,圧力センサ,スイッ...

シソーラス用語： *マイクロマシン ,...

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分類 (2件)： 歯車,歯車装置  (QB01060O) ,  電気めっき  (WC08023B)

引用文献 (8件)：

• KONG, Seogho. T.IEE Japan. 1997, 117-E, 1, 10
• CHANG-HYEON, JI. Jpn. J. Appl. Phys. 2000, 39, 7138
• UNNO, Toshinori. T.IEE Japan. 2002, 122-E, 5, 249
• BECKER, E. W. Microelectronic Engineering. 1986, 4, 35
• U. S. Patent. 1989, 4882245

タイトルに関連する用語 (9件)： 開口数 ,  投影 ,  露光 ,  リソグラフィ ,  厚膜 ,  レジスト ,  パタン形成 ,  マイクロ部品 ,  応用