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J-GLOBAL ID：200902213129948073   整理番号：05A0305893

ステンレス鋼および合金鋼のスパッタエッチングによる円錐状表面炭化物の生成

Formation of Conical Carbides on the Surface of Stainless and Alloy Steels by Sputter-Etching

著者 (4件)： ZHANG Qinglian (広島大 大学院工学研究科) ,  WANG Rongguang (広島大 大学院工学研究科) ,  加藤昌彦 (広島大 大学院工学研究科) ,  中佐啓治郎 (広島大 大学院工学研究科)
資料名： 日本金属学会誌  (Journal of the Japan Institute of Metals and Materials)
巻： 69  号： 3  ページ： 312-319  発行年： 2005年03月20日 
JST資料番号： G0023A  ISSN： 0021-4876  CODEN： NIKGAV  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高周波マグネトロンスパッタ法によりSUS304,430,SC...

シソーラス用語： 表面処理 ,...
準シソーラス用語： スパッタエッチング ,...

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分類 (1件)： その他の表面処理  (WC08070F)

引用文献 (10件)：

• 1) H. H. Andersen, B. Stenum, T. Sorensen and H. J. Whitlow: Nucl. Instrum. Methods 209/210(1983) 487-494.
• 2) J. Kirschner: Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B7/8(1985) 742-749.
• 3) L. E. Rehn, N. Q. Lam and H. Wiedersich: Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B7/8(1985) 764-767.
• 4) T. J . Whetten and A. L. Ruoff: Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B7/8(1985) 836-839.
• 5) R. Wang, M. Kato and K. Nakasa: J. Japan Inst. Metals 63(1999) 1015-1021.

タイトルに関連する用語 (5件)： ステンレス鋼 ,  合金鋼 ,  スパッタエッチング ,  円錐 ,  炭化物