300mm半導体製造における自動化マテリアルハンドリングシステムの調査

AGRAWAL Gaurav K; HERAGU Sunderesh S

文献

J-GLOBAL ID：200902213793828891 整理番号：06A0131678

300mm半導体製造における自動化マテリアルハンドリングシステムの調査

A survey of automated material handling systems in 300-mm semiconductor fabs

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巻： 19 号： 1 ページ： 112-120 発行年： 2006年02月
JST資料番号： T0521A ISSN： 0894-6507 CODEN： ITSMED 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

300mmウエハの製造における自動化マテリアルハンドリングシ...

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固体デバイス製造技術一般 , 運搬管理

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