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J-GLOBAL ID：200902215635696751   整理番号：08A1270324

制御屋と呼ばれたい

著者 (1件)： 佐伯和明 (ニコン 精機カンパニー)
資料名： システム/制御/情報  (システム制御情報学会誌)
巻： 52  号： 12  ページ： 463-466  発行年： 2008年12月15日 
JST資料番号： G0902A  ISSN： 0916-1600  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： (株)ニコンが供給している,液晶テレビの重要な製造工程に使われる大型の液晶パネル製造装置は世界のトップシェアを占め,リーディングカンパニーとして液晶パネル普及に貢献している。この液晶パネル製造装置,超大型超精密な制御装置である露光装置の基本構成では,フィードフォワード制御にフィードバック制御を組合わせた2自由度制御を実現している。モデルに基づく制御系設計の手順とそれを実践する必要なスキル,および機械・電気・ソフト・制御エンジニアの活躍領域を示した。その実践結果として,数式モデル化,システム同定,制御性能の比較を示した。

シソーラス用語： *液晶ディスプレイ ,  *製造 ,  大型 ,  *露光 ,  *フォトリソグラフィー ,  フィードフォワード制御 ,  フィードバック制御 ,  自由度 ,  技術者 ,  *制御装置 ,  製造装置 ,  露光装置 ,  二自由度制御
準シソーラス用語： 超大型

分類 (1件)： 表示機器  (NC06030Q)

引用文献 (4件)：

• 坂田. マルチレート制御に基づく大型超精密スキャンステージのオートフォーカス/レベリング制御. 平成19年電学会産業計測制御技術研究会. 2007, 47-52
• SAKATA, K. Improvement of fast and precise positioning of large-scale high-precision step-stage based on vibration suppression PTC. IEEE IECON'07. 2007, 339-344
• SAIKI, K. A study on high-speed and high-precision tracking control of large-scale stage using perfect tracking control method based on multirate feedforward control. IEEE AMC'08. 2008, 206-211
• 原. 超精密ステージの機構と制御の同時最適化の基礎検討. 平成19年電学会産業計測制御技術研究会. 2007, 65-70