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J-GLOBAL ID：200902209324462013   整理番号：08A0812872

振動抑制PTCに基づく大規模高精度階段状ステージの高速・高精度位置決めの改善

Improvement of Fast and Precise Positioning of Large-Scale High-Precision Step-Stage Based on Vibration Suppression PTC

著者 (4件)： SAKATA Koichi (Yokohama National Univ., Yokohama, JPN) ,  FUJIMOTO Hiroshi (Yokohama National Univ., Yokohama, JPN) ,  SHIMOYAMA Takachika (Nikon Corp. Yokohama Plant, Yokohama, JPN) ,  SAIKI Kazuaki (Nikon Corp. Yokohama Plant, Yokohama, JPN)
資料名： Annual Conference of the IEEE Industrial Electronics Society  (Annual Conference of the IEEE Industrial Electronics Society)
巻： 33rd Vol.1  ページ： 339-344  発行年： 2007年 
JST資料番号： H0475B  ISSN： 1553-572X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 低共振モードを有する大規模高精度階段状ステージの高速・高精度位置決めに,振動抑制PTC(Perfect Tracking Control)を適用した。移動部が266kgある本ステージの目標仕様は,150msの位置の整定時間で追従許容誤差0.5μmである。この振動抑制PTCの利点をシミュレーションと実験によって示した。

シソーラス用語： *追従制御 ,  防振 ,  位置決め ,  計算機シミュレーション ,  周波数応答 ,  フィードバック制御 ,  システムオブザーバ ,  振動モード ,  *位置制御 ,  標本抽出 ,  システム設計 ,  制御系 ,  外乱オブザーバ ,  計算機利用 ,  利用
準シソーラス用語： 振動抑制 ,  共振モード ,  マルチレートサンプリング

分類 (1件)： システム設計・解析  (IA02030D)

タイトルに関連する用語 (5件)： 振動抑制 ,  PTC ,  大規模 ,  階段 ,  ステージ