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J-GLOBAL ID：200902215967368057   整理番号：07A0167935

微力三次元触覚プローブを用いた超精密微小CMM

Ultraprecision micro-CMM using a low force 3D touch probe
著者 (3件)：
KUENG A

KUENG A について

(Swiss Federal Office of Metrology (METAS), Bern-Wabern, CHE)

Swiss Federal Office of Metrology (METAS), Bern-Wabern, CHE について

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MELI F

MELI F について

(Swiss Federal Office of Metrology (METAS), Bern-Wabern, CHE)

Swiss Federal Office of Metrology (METAS), Bern-Wabern, CHE について

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THALMANN R

THALMANN R について

(Swiss Federal Office of Metrology (METAS), Bern-Wabern, CHE)

Swiss Federal Office of Metrology (METAS), Bern-Wabern, CHE について


資料名：
Measurement Science and Technology  (Measurement Science and Technology)

Measurement Science and Technology について


巻： 18  号： 2  ページ： 319-327  発行年： 2007年02月 
JST資料番号： C0354C  ISSN： 0957-0233  CODEN： MSTCEP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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ナノメータ精度で小部品測定する三次元座標測定機(CMM)を開...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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ナノメータ加工

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準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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較正

較正 について

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分類 (1件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器 
(AD05020O)

長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器 について

タイトルに関連する用語 (5件)：
タイトルに関連する用語
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触覚

触覚 について

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プローブ

プローブ について

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超精密

超精密 について

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微小

微小 について

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CMM

CMM について


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