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J-GLOBAL ID:200902216014069644   整理番号:04A0408237

表面積が増加できるスパッタチタン膜の酸化処理方法の検討

著者 (2件):
資料名:
巻: 53rd  ページ: 199-200  発行年: 2004年05月14日 
JST資料番号: Y0052A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
シソーラス用語:
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分類 (2件):
分類
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酸化物薄膜  ,  太陽電池 
タイトルに関連する用語 (4件):
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