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J-GLOBAL ID：200902216014069644   整理番号：04A0408237

表面積が増加できるスパッタチタン膜の酸化処理方法の検討

著者 (2件)： 金子忠夫 (群馬工高専) ,  霜田恵一 (群馬工高専)
資料名： 日本材料学会学術講演会講演論文集  (Proceedings of the JSMS Annual Meetings)
巻： 53rd  ページ： 199-200  発行年： 2004年05月14日 
JST資料番号： Y0052A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *チタン ,...

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分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (4件)： 表面積 ,  スパッタ ,  チタン膜 ,  酸化処理