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J-GLOBAL ID：200902217180938789   整理番号：09A0143906

Pr_12.5Fe_77.5B₁₀薄膜のマグネトロンスパッタ蒸着と基板温度による磁気特性の依存性

Magnetron sputtering deposition of Pr_12.5Fe_77.5B₁₀ thin films and substrate temperature dependence of the magnetic properties

著者 (6件)： ZHANG Wenyong (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  SHIMA Hisashi (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  TAKANO Fumiyoshi (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  TAKENAKA Masato (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  AKINAGA Hiroyuki (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  NIMORI Shigeki (National Inst. for Materials Sci., Tsukuba, JPN)
資料名： Journal of Physics. D. Applied Physics  (Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 42  号： 2  ページ： 025004,1-5  発行年： 2009年01月21日 
JST資料番号： B0092B  ISSN： 0022-3727  CODEN： JPAPBE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電子デバイスの小型化により,マイクロモータといった微小電気機械システム(MEMS)が登場した。そして,電磁誘導MEMSは,強い力に対しても安定であることなどから注目を集めている。また,MEMS用途では,硬軟磁気と軟磁気特性を有する磁気材料が求められており,このような材料としてNdFeB膜が有望とされている。また,Ndに類似した化学特性を有するPrに置換したPrFe₁₄B化合物が,Nd₂Fe₁₄B化合物よりも高い異方性を有する。だが,このPrFe₁₄B化合物に関する調査は,極めて少ない。本稿では,蒸着温度が,Pr_12.5Fe_77.5B₁₀膜の微細構造,ドメイン構造,並びに,磁気特性に齎す影響について調査した。まず,室温と600°Cにて蒸着した膜を,膜Aと膜Bとした。そして,これらの膜の構造を,X線回折(XRD)と透過電子顕微鏡(TEM)により調査し,各膜のXRDパターンを,夫々示した。そして,膜Aは,非晶質で,硬軟磁気特性を示し,垂直磁気異方性(PMA)による磁気ストライプ構造が見られた。一方,膜Bは,磁気的に硬い相と柔らかい相とから構成され,硬軟磁気特性を示した。この膜では,交換結合磁気領域も観測された。本調査から,Pr_12.5Fe_77.5B₁₀膜の微細構造と磁気特性は,蒸着温度に大きく依存し,この温度を変化させることで,微細構造と磁気特性を調整できることが示された。そして,硬軟磁気特性と軟磁気特性を有する成膜直後のPr_12.5Fe_77.5B₁₀膜は,磁気MEMS用途における有望な選択肢となるものと期待される。

シソーラス用語： *スパッタ蒸着 ,  金属薄膜 ,  蒸着膜 ,  *鉄合金 ,  ホウ素含有合金 ,  プラセオジム含有合金 ,  *MEMS ,  電子顕微鏡観察 ,  原子間力顕微鏡 ,  *磁気ヒステリシス ,  微細構造 ,  磁区 ,  X線回折 ,  磁性 ,  垂直磁気異方性
準シソーラス用語： 軟磁性 ,  硬磁性

分類 (1件)： 金属結晶の磁性  (BM06040T)

タイトルに関連する用語 (6件)： 薄膜 ,  マグネトロン ,  スパッタ蒸着 ,  基板温度 ,  磁気特性 ,  依存性