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J-GLOBAL ID:200902217319109529   整理番号:05A0713122

陽極多孔性アルミナによるけい素の電気化学エッチング

Electrochemical etching of silicon through anodic porous alumina
著者 (3件):
資料名:
巻:号:ページ: 953-956  発行年: 2005年09月 
JST資料番号: W1133A  ISSN: 1388-2481  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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100nm周期性をもつ自己秩序細孔形状の多孔性けい素を陽極多...
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準シソーラス用語:
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分類 (2件):
分類
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電気化学反応  ,  無機化合物一般及び元素 
タイトルに関連する用語 (5件):
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