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J-GLOBAL ID：200902217423569876   整理番号：08A0585934

電場アシスト窒素及び酸素のエッチングにより鋭利にしたWチップからの電界放出

Field Emission from W Tips Sharpened by Field-Assisted Nitrogen and Oxygen Etching

著者 (3件)： ONODA Jo (Dep. of Molecular and Material Sciences, Kyushu Univ., JPN) ,  RAHMAN Faridur (Dep. of Molecular and Material Sciences, Kyushu Univ., JPN) ,  MIZUNO Seigi (Dep. of Molecular and Material Sciences, Kyushu Univ., JPN)
資料名： e-Journal of Surface Science and Nanotechnology (Web)  (e-Journal of Surface Science and Nanotechnology (Web))
巻： 6  ページ： 152-156 (J-STAGE)  発行年： 2008年 
JST資料番号： U0016A  ISSN： 1348-0391  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電場アシスト窒素及び酸素のエッチングにより鋭利にしたチップについて,電界放出特性を研究した。鋭利な<111>配向の単結晶タングステンチップを作製し,Fowler-Nordheimプロット及び電界イオン顕微鏡観察により評価した。エッチングによるチップ先端の鋭利化のため,より低いバイヤス電圧で電界放出する結果が得られた。窒素エッチングを行った後の電界放出特性及びチップ形状を,酸素エッチング後に得られたものと比較した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *タングステン ,  *電極チップ ,  *電界放出 ,  電界放出顕微鏡 ,  結晶面 ,  *電界イオン顕微鏡 ,  電圧依存性 ,  電流電圧特性 ,  *エッチング ,  電場効果 ,  単結晶 ,  鋭角 ,  形状効果 ,  窒素 ,  酸素

分類 (3件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B) ,  熱電子放出,電界放出  (BM09020S) ,  分子構造と性質の実験的研究  (CB01020I)

引用文献 (18件)：

• [1] H. W. Fink, IBM. J. Res. Develop. 30, 460 (1986).
• [2] H. W. Fink, Physica Scripta 38, 260 (1988).
• [3] V. T. Binh and N. Garcia, J. Phys. I (France) 1, 605 (1991).
• [4] V. T. Binh, S. T. Purcell, N. Garcia, and J. Doglioni, Phys. Rev. Lett. 69, 2527 (1992).
• [5] K. Nagaoka, H. Fujii, K. Matsuda, M. Komaki, Y. Murata, C. Oshima, and T. Sakurai, Appl. Surf. Sci. 182, 12 (2001).

タイトルに関連する用語 (6件)： 電場 ,  アシスト ,  窒素 ,  酸素 ,  エッチング ,  電界放出