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J-GLOBAL ID:200902217570105982   整理番号:06A0338285

走査型非線形誘電顕微鏡に湿度はどのように影響するか

How Humidity Affects on Scanning Nonlinear Dielectric Microscope
著者 (8件):
資料名:
巻:ページ: 454-459 (J-STAGE)  発行年: 2006年 
JST資料番号: U0016A  ISSN: 1348-0391  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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三つの異なるドーピング領域を持つパターンをつけた半導体表面試...
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誘電体測定技術・装置 
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