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J-GLOBAL ID：200902217771980814   整理番号：08A0557400

大気中酸素分子の真空紫外照射で発生した活性酸素での有機シラン自己組織化単分子層の表面化成処理

Surface Chemical Conversion of Organosilane Self-Assembled Monolayers with Active Oxygen Species Generated by Vacuum Ultraviolet Irradiation of Atmospheric Oxygen Molecules

著者 (7件)： KIM Young-Jong (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  LEE Kyung-Hwang (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  SANO Hikaru (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  HAN Jiwon (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  ICHII Takashi (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  MURASE Kuniaki (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  SUGIMURA Hiroyuki (Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 47  号： 1 Issue 1  ページ： 307-312  発行年： 2008年01月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 波長172nmの真空紫外(VUV)光を照射した大気中の酸素分子から発生した活性酸素種を用いて酸素被覆Si基板上のn-オクタデシルトリメトキシシランの自己組織化単分子層(ODS-SAMs)上面の化学処理を水の接触角測定,エリプソメトリー,X線光電子分光,及び原子間力顕微鏡により調べた。基板及び蒸気温度が150°Cの化学気相蒸着を用いて水の接触角が104°のODS-SAMを作製した。試料を大気中に置いてODS-SAM試料のVUV処理を行い,その後試料表面をXeエキシマレーザランプで照射した。ランプと試料間の距離を調整してランプから放射されるVUV光がほぼ完全に大気中の酸素分子により吸収され,試料表面に到着する前にオゾンや酸素原子のような活性酸素種を発生させるようにした。そのため活性酸素種との化学反応を通してODS-SAMの表面化成処理が第一に促進された。ODS-SAMの光化学変化により表面に-COOH,-CHO,及び-OHのような極性官能基が発生して単分子層をエッチングすることが分かった。照射時間のような照射パラメータを最適化し,SAM上面の機能化を向上させてODS-SAMのエッチング深さを最小化した。ODS-SAMがある極性官能基の上にアルカリシラン二層膜を形成することにより他のSAMを挿入できることを示した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 自己組織化 ,  *単分子層 ,  膜厚 ,  水 ,  接触角 ,  真空紫外線 ,  紫外線照射 ,  活性酸素 ,  *化成処理 ,  時間依存性 ,  極性分子 ,  基 ,  エッチング ,  最適化 ,  表面粗さ
準シソーラス用語： 官能基

分類 (1件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L)

物質索引 (1件)： オクタデシルトリメトキシシラン

引用文献 (45件)：

• P. E. Laibinis and G. M. Whitesides: J. Am. Chem. Soc.114(1992)9022.
• B. Zhao, J. S. Moore, and D. J. Beebe: Science 291(2001)1023.
• Y. Feng, Z. Zhou, X. Ye, and J. Xiong: Sens. Actuators A 108(2003)138.
• P. Ying, G. Jin, and Z. Tao: Colloids Surf. B 33(2004)259.
• M. J. Wirth, R. W. P. Fairbank, and H. O. Fatunmbi: Science 275(1997)44.

タイトルに関連する用語 (6件)： 大気中 ,  酸素分子 ,  活性酸素 ,  有機シラン ,  自己組織化単分子層 ,  化成処理