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J-GLOBAL ID：200902218205280500   整理番号：06A0742178

スパッタリングによるB-C-N膜の蒸着とその機械的特性

Deposition of B-C-N films by Sputtering and their Mechanical Properties

著者 (5件)： KIM Jongduk (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya) ,  NAKAO Setsuo (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya) ,  CHOI Junho (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya) ,  IKEYAMA Masami (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya) ,  MIYAKE Shojiro (Nippon Inst. of Technol., Saitama)
資料名： Transactions of the Materials Research Society of Japan  (Transactions of the Materials Research Society of Japan)
巻： 31  号： 3  ページ： 693-696  発行年： 2006年09月 
JST資料番号： L4468A  ISSN： 1382-3469  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高硬度のB-C-N膜のスパッタ製膜と機械的性質について報告し...

シソーラス用語： *ホウ素化合物 ,...

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分類 (2件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

引用文献 (11件)：

• S. Miyake, J Vac. Soc. Japan, 47, 811-819(2004).
• S. Miyake and M. Wang, Jap. I Appl. Phys, 43, 3566-3571(2004).
• S. Nkao, J. Choi, S. Miyagawa, M. Ikeyama and K. Tsugawa, Transactions of the M. K S. Jap., 30, 785-788(2005).
• H. Yasui, Y. Hirose, K. Awazu and M. Iwaki, Colloids and Surfaces B, 19, 291-295(2000).
• S. Watanabe, S. Miyake and M Murakawa, New Diamond and Frontier Carbon Technology, 14, 341-349(2004).

タイトルに関連する用語 (3件)： スパッタリング ,  蒸着 ,  機械的特性