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J-GLOBAL ID：200902218293174862   整理番号：06A0510039

バイポーラ型プラズマ基のイオン注入により作製したDLC膜の微細組織に及ぼす正および負のパルス電圧の影響

Effects of positively and negatively pulsed voltages on the microstructure of DLC films prepared by bipolar-type plasma based ion implantation

著者 (6件)： NAKAO Setsuo (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Materials Res. Inst. for Sustainable Dev., 2266-98 ...) ,  CHOI Junho (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Materials Res. Inst. for Sustainable Dev., 2266-98 ...) ,  KIM Jondoku (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Materials Res. Inst. for Sustainable Dev., 2266-98 ...) ,  MIYAGAWA Soji (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Materials Res. Inst. for Sustainable Dev., 2266-98 ...) ,  MIYAGAWA Yoshiko (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Materials Res. Inst. for Sustainable Dev., 2266-98 ...) ,  IKEYAMA Masami (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Materials Res. Inst. for Sustainable Dev., 2266-98 ...)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 15  号： 4-8  ページ： 884-887  発行年： 2006年04月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ダイヤモンド状炭素(DLC)膜をバイポーラ型プラズマ基のイオ...

シソーラス用語： 炭素 ,...
準シソーラス用語： *DLC【炭素】 ,...

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分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  非金属元素とその化合物の結晶構造  (BK07010N)

タイトルに関連する用語 (7件)： バイポーラ ,  プラズマ ,  イオン注入 ,  作製 ,  DLC膜 ,  微細組織 ,  パルス電圧