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J-GLOBAL ID：200902218975749611   整理番号：04A0303685

位相シフトSEMモアレ法

Phase shifting SEM moire method

著者 (5件)： XIE H (Tsinghua Univ., Beijing, CHN) ,  SHANG H (Tsinghua Univ., Beijing, CHN) ,  DAI F (Tsinghua Univ., Beijing, CHN) ,  LI B (Tsinghua Univ., Beijing, CHN) ,  XING Y (Inner Mongolia Poly Technique Univ., Huhhot, CHN)
資料名： Optics & Laser Technology  (Optics & Laser Technology)
巻： 36  号： 4  ページ： 291-297  発行年： 2004年06月 
JST資料番号： D0245B  ISSN： 0030-3992  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 新しい位相シフト走査型電子顕微鏡(SEM)モアレ法を提案し実...

シソーラス用語： *モアレ ,...
準シソーラス用語： モアレ縞

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分類 (2件)： 電子回折法  (BK01030T) ,  電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (3件)： 位相シフト ,  SEM ,  モアレ法