光リソグラフィー用の狭帯域F<sub>2</sub>レーザのスペクトル動特性

TANAKA H; TAKAHASHI A; OKADA T; ARIGA T; NOHDOMI R; HOTTA K; MIZOGUCHI H

文献

J-GLOBAL ID：200902218995185528 整理番号：03A0523210

光リソグラフィー用の狭帯域F₂レーザのスペクトル動特性

Spectral dynamics of narrow-band F₂ laser for optical lithography

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資料名：
巻： 76 号： 7 ページ： 735-740 発行年： 2003年07月
JST資料番号： E0501B ISSN： 0946-2171 CODEN： APBOEM 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：ドイツ (DEU) 言語：英語 (EN)

光リソグラフィー用の光源にはスペクトル線幅の狭い高出力レーザ...

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化学レーザ

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光リソグラフィー用の狭帯域F2レーザのスペクトル動特性

光リソグラフィー用の狭帯域F₂レーザのスペクトル動特性