1.156GHz自己整合振動型微小機械円板共振器

WANG J; REN Z; NGUYEN C T-C

文献

J-GLOBAL ID：200902219048265220 整理番号：05A0069451

1.156GHz自己整合振動型微小機械円板共振器

1.156-GHz Self-Aligned Vibrating Micromechanical Disk Resonator

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資料名：
巻： 51 号： 12 ページ： 1607-1628 発行年： 2004年12月
JST資料番号： H0369A ISSN： 0885-3010 CODEN： ITUCER 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

微小機械構造をその心軸に自己整合させる新しい製造法を用いて,...

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共振器

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