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J-GLOBAL ID:200902219545550176   整理番号:07A0230105

新概念超平滑研削法によるナノメータレベル平坦面生成技術の検討(第1報)-平坦度に及ぼす研削方向平行間欠送り量の影響-

Formation Technique of Nanometer Level Flatness in Ultra-Smoothness Grinding Method Based on New Concept (1st Report)-Influence of Parallel Step Feed to Grinding Direction on Surface Flatness-
著者 (3件):
資料名:
巻: 73  号:ページ: 345-349  発行年: 2007年03月05日 
JST資料番号: F0268B  ISSN: 1348-8716  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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