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J-GLOBAL ID：200902219545550176   整理番号：07A0230105

新概念超平滑研削法によるナノメータレベル平坦面生成技術の検討(第1報)-平坦度に及ぼす研削方向平行間欠送り量の影響-

Formation Technique of Nanometer Level Flatness in Ultra-Smoothness Grinding Method Based on New Concept (1st Report)-Influence of Parallel Step Feed to Grinding Direction on Surface Flatness-

著者 (3件)： 安井平司 (熊本大 大学院) ,  山本雄記 (熊本大 大学院) ,  坂本竜司郎 (熊本大 大学院)
資料名： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
巻： 73  号： 3  ページ： 345-349  発行年： 2007年03月05日 
JST資料番号： F0268B  ISSN： 1348-8716  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では新概念の超平滑研削法による大面積でのナノメータオー...

シソーラス用語： *研削 ,...

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分類 (1件)： 研削  (QC03000R)

引用文献 (1件)：

• 安井平司. 研磨レス超平滑研削法の開発 (第1報)-その考え方と一, 二の実験的検討-. 精密工学会誌. 2003, 69, 12, 1713

タイトルに関連する用語 (6件)： 概念 ,  研削 ,  ナノメータレベル ,  平坦面 ,  平坦度 ,  間欠送り