文献

J-GLOBAL ID：200902220256562717   整理番号：09A0853400

結晶性FeCoB裏打ち軟磁性層によるグラニュラー垂直磁気記録媒体の特性改善

Improvement of granular perpendicular magnetic recording media with Si/NiFe/FeCoB crystalline SUL

著者 (8件)： 五味俊輔 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  平田健一郎 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  松鵜利光 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  松沼悟 (日立マクセル) ,  井上鉄太郎 (日立マクセル) ,  渡辺利幸 (日立マクセル) ,  土井嗣裕 (日立マクセル) ,  中川茂樹 (東京工大 大学院理工学研究科)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 109  号： 132(MR2009 13-20)  ページ： 41-45  発行年： 2009年07月09日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 垂直磁気記録媒体の記録層と裏打ち軟磁性層の間に挿入される中間層Ruの薄膜化を達成するために結晶性裏打ち軟磁性層を適用することを検討した。結晶性裏打ち軟磁性層としてFeCoB層を用いて,bcc-FeCoBの(110)配向度を向上させることにより,中間層Ruのc軸配向度およびCoPtCr-SiO₂記録層のc-軸配向度の向上が可能となる。そこで,FeCoB層の(110)配向度を制御するために,Ru層およびSi/NiFe膜の2つのシード層を用いたFeCoB裏打ち軟磁性層を作製し比較した。Ru膜をシード層としたRu/FeCoB膜は高異方性磁界を持ち,Si/NiFe膜をシード層としたSi/NiFe/FeCoB膜はbcc-FeCoB(110)優先配向を促進するものである。Si/NiFe膜をシード層として用いると,Ruシード層の場合よりもFeCo(110)配向を促進することが確認された。また,FeCoB層の(110)配向度を向上させたRu/FeCoB膜やSi/NiFe/FeCoB膜を結晶性裏打ち軟磁性層として利用することにより,中間層Ruの膜厚を30nmから1nmまで低減させた場合に,記録層のCoPtCr(002)ピークの積分強度が維持されることが確認された。また,中間層Ruの膜厚を5nmまで薄くしても記録層の保磁力と角型比が維持されることが確認された。(著者抄録)

シソーラス用語： *垂直磁気記録 ,  界磁 ,  裏張 ,  薄膜 ,  *磁性薄膜 ,  粒状性 ,  配向 ,  ルテニウム
準シソーラス用語： bcc-FeCoB(110)配向 ,  hcp-Ru(001)配向 ,  グラニュラー薄膜 ,  *垂直磁気記録媒体 ,  軟磁性 ,  裏打ち

分類 (2件)： 電子・磁気・光学記録  (NC06020F) ,  磁性材料  (NA04040H)

タイトルに関連する用語 (5件)： 結晶性 ,  裏打ち ,  軟磁性層 ,  垂直磁気記録媒体 ,  特性改善