プラズマと半導体表面との相互作用に関するその場診断を目的としたFourier変換型赤外位相変調偏光解析法

SHIRAFUJI T; MOTOMURA H; TACHIBANA K

文献

J-GLOBAL ID：200902220257312714 整理番号：04A0299956

プラズマと半導体表面との相互作用に関するその場診断を目的としたFourier変換型赤外位相変調偏光解析法

Fourier transform infrared phase-modulated ellipsometry for in situ diagnostics of plasma-surface interactions

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巻： 37 号： 6 ページ： R49-R73 発行年： 2004年03月21日
JST資料番号： B0092B ISSN： 0022-3727 CODEN： JPAPBE 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：文献レビュー発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

最近,薄膜の堆積,エッチングおよび表面処理のように,材料を製...

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偏光測定と偏光計 , 固体-プラズマ相互作用 , プラズマ応用

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