研究者
J-GLOBAL ID:200901045458520803
更新日: 2022年07月05日
橘 邦英
タチバナ クニヒデ | Tachibana Kunihide
所属機関・部署:
京都大学 大学院工学研究科 電子工学専攻
京都大学 大学院工学研究科 電子工学専攻 について
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職名:
教授
研究分野 (4件):
電気電子材料工学
, 応用物理一般
, プラズマ科学
, プラズマ応用科学
研究キーワード (6件):
半導体料料プロセス
, プラズマ分光学
, プラズマエレクトロニクス
, Processing of Semiconductors
, Plasma Spectroscopy
, Plasma Electronics
競争的資金等の研究課題 (6件):
プラズマディスプレイにおける放電現象の研究
電子材料薄膜の作製過程と物性に関する研究
半導体プロセス用反応性プラズマの分光計測
Study on Discharge Phenomena in Unit Cell of Plasma Display Panel
Study on Preparation Process and Properties of Thin Film Materials for Electronic Devices
Spectroscopic Diagnostics of Reactive Plasmas Used in Semiconductor Processing
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MISC (102件):
T Shirafuji, A Tsuchino, T Nakamura, K Tachibana. Plasma copolymerization of C6F6/C5F8 for application of low-dielectric-constant fluorinated amorphous carbon films and its gas-phase diagnostics using in situ Fourier transform infrared spectroscopy. JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS. 2004. 43. 5A. 2697-2703
T Nakamura, T Nishimura, K Tachibana. Thermal decomposition mechanism of a titanium source, Ti-(MPD)-(METHD)(2), in MOCVD. JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY. 2004. 151. 12. C806-C810
T Nakamura, T Nishimura, S Momose, K Tachibana. In situ infrared spectroscopic study on a titanium source in MOCVD. JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY. 2004. 151. 10. C605-C609
Fourier Transform Infrared Phase-Modulated Ellipsometry for in situ Diagnostics of Plasma-Surface Interactions. Journal of Physics D: Applied Physics. 2004. 37. 6. R49-R73
T Shirafuji, T Kitagawa, T Wakai, K Tachibana. Observation of self-organized filaments in a dielectric barrier discharge of Ar gas. APPLIED PHYSICS LETTERS. 2003. 83. 12. 2309-2311
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学歴 (4件):
- 1973 京都大学 工学研究科 機械工学
- 1973 京都大学
- 1968 京都大学 工学部 機械工学
- 1968 京都大学
学位 (1件):
工学博士
委員歴 (4件):
2003 - 2004 日本真空協会 関西支部副支部長
2004 - 応用物理学会 関西支部長
2001 - 2003 応用物理学会 理事
1990 - 1991 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会幹事長
受賞 (3件):
1999 - 日本学術振興会プラズマ材料科学賞
1997 - プラズマ化学賞(Plasma Chemistry Prize)
1995 - 応用物理学会賞
所属学会 (8件):
IEEE
, 米国真空学会(American Vacuum Society)
, 照明学会
, レーザー学会
, 日本真空協会
, 電気学会
, 日本分光学会
, 応用物理学会
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