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J-GLOBAL ID：200902220488700555   整理番号：03A0856212

共焦点顕微鏡を用いた微細金型の形状測定に関する研究

著者 (4件)： 笹島和幸 (東京工大) ,  原精一郎 (東京工大) ,  伊藤康平 (東京工大 大学院) ,  野地祥子 (東京工大 大学院)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2003  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： 355  発行年： 2003年09月10日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 共焦点顕微鏡 ,...

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分類 (1件)： 工作機械要素,ジグ,チャック  (QC01020Z)

タイトルに関連する用語 (4件)： 共焦点顕微鏡 ,  微細金型 ,  形状測定 ,  研究