プラズマイオン注入によるTiおよびW-含有ダイヤモンド状カーボン膜の作製と特性評価

文献

J-GLOBAL ID：200902220929715545 整理番号：04A0002936

Deposition and characterization of Ti- and W-containing diamond-like carbon films by plasma source ion implantation

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資料名：
巻： 169/170 ページ： 287-290 発行年： 2003年06月02日
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

TiとWを含むダイヤモンド状カーボン(DLC)膜をSiウェハ...

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炭素とその化合物

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