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J-GLOBAL ID:200902220929715545   整理番号:04A0002936

プラズマイオン注入によるTiおよびW-含有ダイヤモンド状カーボン膜の作製と特性評価

Deposition and characterization of Ti- and W-containing diamond-like carbon films by plasma source ion implantation
著者 (2件):
資料名:
巻: 169/170  ページ: 287-290  発行年: 2003年06月02日 
JST資料番号: D0205C  ISSN: 0257-8972  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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TiとWを含むダイヤモンド状カーボン(DLC)膜をSiウェハ...
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分類 (1件):
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炭素とその化合物 
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